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M2轉(zhuǎn)換模塊通過(guò)專(zhuān)利衍射技術(shù)，將多模激光（M2=12-30）在快軸方向轉(zhuǎn)化為近單模質(zhì)量（M2≈2.4），同時(shí)保持慢軸多模特性。該透射式模塊采用光刻工藝制造，具備>93%透射率、無(wú)像差設(shè)計(jì)，支持193-1940nm全光譜。30mm直徑緊湊結(jié)構(gòu)可直接集成現(xiàn)有光路，無(wú)需橢圓光束預(yù)處理。結(jié)合后續(xù)聚焦模塊，可生成均勻衍射極限線光斑（線寬<20μm，均勻性<5%），顯著降低激光加工系統(tǒng)成本。適用于激光剝離、退火、太陽(yáng)能電池制造等高精度工業(yè)場(chǎng)景。
我們一站式供應(yīng)各種類(lèi)型的激光光束整形， M2轉(zhuǎn)換模塊，衍射光學(xué)元件，多模激光改造，線光束生成,，可提供選型、技術(shù)指導(dǎo)、安裝培訓(xùn)、個(gè)性定制等全生命周期、全流程服務(wù)，歡迎聯(lián)系我們！
M2 轉(zhuǎn)換模塊是我們完整 LeanLine 解決方案的一部分，也可作為獨(dú)立解決方案提供給希望自行進(jìn)行線形整形的客戶。該模塊是一種經(jīng)濟(jì)高效的解決方案，可使用多模 (MM) 激光器作為輸入源，在一個(gè)軸上獲得接近單模 (SM) 的光束質(zhì)量。
它極其易于對(duì)準(zhǔn)，保持相同的光軸，并采用低數(shù)值孔徑 (NA) 光學(xué)元件；使其易于與現(xiàn)有的線聚焦光學(xué)系統(tǒng)集成。與競(jìng)品方案不同，輸入光束可以是圓形的，不需要呈橢圓形。只需將該模塊插入您的光路中，經(jīng)過(guò)一些微調(diào)后，您即可獲得經(jīng)過(guò) M2 轉(zhuǎn)換的光束。
產(chǎn)品特點(diǎn)
基于 HOLO/OR 獨(dú)特知識(shí)產(chǎn)權(quán)內(nèi)部開(kāi)發(fā)。
易于對(duì)準(zhǔn)和安裝 – 模塊出廠即預(yù)對(duì)準(zhǔn)并密封。
通過(guò)光刻生產(chǎn)工藝實(shí)現(xiàn)光束質(zhì)量轉(zhuǎn)換的極高精度。
全透射（無(wú)反射）、同軸系統(tǒng)。
無(wú)像差。
無(wú)內(nèi)部焦點(diǎn)。
可用光譜范圍廣：從深紫外 (DUV) 193nm 到近紅外 (NIR) 1940nm。
采用高品質(zhì)紫外熔融石英制造，所有表面均鍍有高功率增透 (AR) 膜。
典型規(guī)格
| 波長(zhǎng) | 193-1940 nm |
| 尺寸 | 直徑30 mmm,長(zhǎng)度600 mm |
| 快軸剖面 | 類(lèi)平頂分布 (Flat-Top like) |
| 輸入 M2值 | 12 - 30 |
| 慢軸剖面 | 分段式設(shè)計(jì) (Separate sections) |
| 傳輸效率 | > 93% |
每套系統(tǒng)僅限一個(gè)波長(zhǎng)，最大光譜寬度為輸入波長(zhǎng)的 2%
工作原理
輸出形狀由間距相等的分段組成，在一個(gè)軸（快軸）上具有接近單模的質(zhì)量，在第二個(gè)軸（慢軸）上為高度多模。這些分離的低 M2 值分段可以被重新整形并聚焦成一條薄且接近衍射極限的直線，具有良好的均勻性；適用于材料加工的應(yīng)用需求。
M2 轉(zhuǎn)換模塊仿真
以下是 M2 轉(zhuǎn)換模塊的仿真性能結(jié)果。上方的兩個(gè)輪廓圖顯示了波長(zhǎng)為 343 nm、光束直徑 6 mm、發(fā)散角 0.083 度的圓形多模激光光源的強(qiáng)度和發(fā)散角。使用我們的 M2 計(jì)算器，這些計(jì)算出的光束參數(shù)相當(dāng)于 M2 值為 20。
圓形多模激光光源的強(qiáng)度和發(fā)散角
下方的圖片展示了 M2 轉(zhuǎn)換模塊出口處的強(qiáng)度和發(fā)散角。在 M2 值小的軸上，光束尺寸為 0.65 mm，發(fā)散角為 0.094 度。計(jì)算得出的 M2 值為 2.4。
M2 轉(zhuǎn)換模塊輸出 - X 軸（快軸）的歸一化強(qiáng)度和發(fā)散角
M2 轉(zhuǎn)換模塊輸出 - Y 軸（慢軸）的強(qiáng)度和發(fā)散角
LeanLine?
LeanLine? 是創(chuàng)新解決方案，用于將圓形輸入光束轉(zhuǎn)換為窄激光線，適用于各種高功率應(yīng)用，尤其是紫外和綠光波長(zhǎng)（343、355 和 532 nm）。
HOLO/OR 提供穩(wěn)健的雙模塊系統(tǒng)，可將低相干性的圓形輸入轉(zhuǎn)換為用戶指定長(zhǎng)度（100mm-750mm）的窄線。
我們的解決方案基于專(zhuān)有的衍射光束整形概念，可針對(duì)從 193nm 深紫外到 1940 nm 紅外激光器的任何波長(zhǎng)進(jìn)行定制。
通過(guò)利用此解決方案，您可以使用功率更低、成本更低的激光器在細(xì)線中實(shí)現(xiàn)相同的功率密度；從而大幅節(jié)省成本。
衍射解決方案優(yōu)勢(shì)：
易于對(duì)準(zhǔn)和安裝。
通過(guò)光刻生產(chǎn)工藝實(shí)現(xiàn)光束質(zhì)量轉(zhuǎn)換的極高精度。
全透射（無(wú)反射）、同軸系統(tǒng)。
無(wú)像差。
可輕松修改以產(chǎn)生不同的線長(zhǎng)和線寬。
無(wú)內(nèi)部焦點(diǎn)。
可用光譜范圍廣：從深紫外 (DUV) 到近紅外 (NIR)。
該解決方案包含兩個(gè)模塊：
第一個(gè)模塊是 M2 轉(zhuǎn)換模塊：用于光束質(zhì)量轉(zhuǎn)換和細(xì)線光束整形。
第二個(gè)模塊：用于控制線長(zhǎng)度并在窄軸方向聚焦。
LeanLine 應(yīng)用領(lǐng)域：
激光剝離工藝 & 解鍵合 (Debonding)。
激光退火。
激光焊接。
薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)。
直接激光干涉圖案化 (DLIP)。
OLED 顯示器。
LeanLine加工材料：
硅
玻璃上硅
聚合物
玻璃上氧化銦錫
典型規(guī)格
| 波長(zhǎng) | 343、355、532 nm |
| 尺寸 | 待定 |
| 系統(tǒng)效率 | > 75% |
| 樣品處能量密度 | 取決于輸入激光功率 |
| 系統(tǒng)總長(zhǎng) | 待定 |
| 輸入M2值 | 12 - 25 |
| 線長(zhǎng) | 按需定制 |
| 線寬(FWHM) | < 20 μm |
| 線條均勻性 | < 5% |
| 工作距離 | 125 mm |
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