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激光設備配件激光器配件工業(yè)自動化
激光掃描振鏡 SUPERSCAN IV

激光掃描振鏡 SUPERSCAN IV

時間:2025-08-28 類別:激光設備配件 關注:986

多孔徑高功率激光掃描解決方案,支持XY2-100/SL2-100協(xié)議,水冷設計,最高6kW功率

SUPERSCAN IV系列是高端工業(yè)級兩軸激光掃描振鏡系統(tǒng),包含10mm、15mm、20mm和30mm多種輸入孔徑型號,以及專為太陽能電池加工的SOLAR版本。全系列采用數(shù)字PWM控制技術,兼容XY2-100和SL2-100協(xié)議,提供200 rad/s的高速掃描和±15μm的高精度表現(xiàn)。配備水冷和空氣冷卻選項,可支持2kW至6kW高功率激光應用,具有優(yōu)異的動態(tài)響應和長期穩(wěn)定性。廣泛應用于激光打標、切割、焊接、微加工、太陽能電池加工、增材制造和遠程焊接等領域,滿足各種精密工業(yè)加工需求。

我們一站式供應各種類型的激光掃描振鏡,激光打標頭,打標掃描頭,激光振鏡掃描頭,打標機用掃描頭,振鏡打標頭,激光打標鏡頭,可提供選型、技術指導、安裝培訓、個性定制等全生命周期、全流程服務,歡迎聯(lián)系我們!

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手機: 13697356016(微信) 座機: 027-51858958

SUPERSCAN IV-10

    兩軸激光掃描振鏡

動態(tài)、快速和穩(wěn)定

  • 通過20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制

  • 得益于數(shù)字PWM輸出級大幅降低了功耗和熱能產(chǎn)生

  • 快速動態(tài)響應和高速度促進生產(chǎn)效率

  • 多種調(diào)試模式和鏡片鍍膜,適用于各種應用

  • 輸入孔徑: 10 mm

優(yōu)勢

SUPERSCAN IV-10模組化數(shù)字控制技術提供了極強的動態(tài)響應和速度,在打標以及非??焖俚蔷珳实某尚?、切割和鉆孔等應用中真正發(fā)揮作用。堅固耐用的水冷外殼設計保證了即使在頻繁改變光束方向和高跳轉(zhuǎn)的情況下,也能保持穩(wěn)定、低漂移的運行。

可配置選項

透鏡、保護窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。這些多軸加工應用得以獲得優(yōu)質(zhì)質(zhì)量和加工效率。我們也樂于幫助您選擇適合您應用的最優(yōu)化配置。

典型應用

SUPERSCAN IV-10的應用范圍包括打碼、FPC結(jié)構切割以及銅箔的切割鉆孔。由于采用了數(shù)字控制和強大的PWM輸出級,速度和動態(tài)響應得到了保證。當與我們的相機適配器和MVC組件相結(jié)合時,SUPERSCAN IV-10就成為了理想的過程精密監(jiān)控工具。

創(chuàng)新與品質(zhì)

在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)水準是我們的首要目標。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實驗室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測試的。通過我們的全球支持網(wǎng)絡,能夠為客戶提供良好的維護與快速支持服務。

通用規(guī)格

電壓30 V 或 48 V
電流2 A RMS, 最大 5 A
紋波/噪音最大 200 mVpp, @20 MHz帶寬
接口信號數(shù)字XY2-100-增強協(xié)議, SL2-100協(xié)議
環(huán)境溫度+15°C 至 +35°C
存儲溫度-10°C 至 +60°C
濕度≤ 80 % 無結(jié)露
外殼防護等級64
典型偏轉(zhuǎn)角± 0.393 rad
分辨率 XY2-100-E 16-Bit12 μrad
分辨率 SL2-100 20-Bit0.76 μrad
重復定位精度 (RMS)< 2.0 μrad
位置噪聲 (RMS)< 4.5 μrad
最大增益漂移115 ppm/K
最大位置漂移110 μrad/K
8小時長期漂移,無水冷< 60 μrad
8小時長期漂移,有水冷< 40 μrad

水冷控制

冷卻水加添加劑的潔凈自來水
溫度22°C – 28°C
最大水壓< 3 bar
流量2 l/min、4 l/min、6 l/min
壓降0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar

機械參數(shù)

掃描振鏡SUPERSCAN IV
輸入孔徑 [mm]10
光束位移 [mm]12.5 (SI)
重量 (無透鏡) [kg]約 3.2
尺寸 (L x W x H) [mm]170.0 x 125.0 x 117.5

反射鏡類型

波長材質(zhì)
355 nmSI
532 nmSI
1,064 nmSI

 動態(tài)參數(shù)

型號SUPERSCAN IV-10-SI
調(diào)校模式VCM
加工速度 [rad/s]50 @ 30 V
80 @ 48 V
30 @ 30 V
30 @ 48 V
定位速度 [rad/s]50 @ 30 V
80 @ 48 V
30 @ 30 V
30 @ 48 V
追跡誤差 [ms]0.120.10
1%全行程階躍響應時間 [ms]0.330.41

調(diào)校

調(diào)校模式描述
向量調(diào)校 (VC)針對常見應用進行的優(yōu)化調(diào)校,注重加工速度
微加工調(diào)校 (M)針對具有銳利拐角和最小追跡誤差的高精度光束偏轉(zhuǎn)進行的優(yōu)化調(diào)校

詳情資料:SUPERSCAN-IV-10

SUPERSCAN IV-15

    兩軸激光掃描振鏡

動態(tài)性能佳,速度快,多功能

  • 通過20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制

  • 得益于數(shù)字PWM輸出級,極大的降低了功耗和熱量

  • 快速動態(tài)響應和高速度促進生產(chǎn)效率

  • 針對不同應用,提供相應的調(diào)校方式,鏡片材質(zhì)和鍍膜涂層

  • 輸入孔徑: 15 mm

優(yōu)勢

SUPERSCAN IV-15 的模組化數(shù)字控制技術提供了極高的動態(tài)性能和高達75rad/s的速度,從而滿足極快速度極高精度掃描應用的要求。堅固的水冷外殼設計,搭配石英反射鏡,能夠承受激光功率高達2 kW。

可選配置<<>

透鏡、保護窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。這些多種加工應用得以獲得優(yōu)質(zhì)質(zhì)量和加工效率。我們樂于為您提供適合您應用的SUPERSCAN IV定制化配置。我們也樂于幫助您選擇適合您應用的最優(yōu)化配置。

典型應用

SUPERSCAN IV-15 特別適合晶圓工成型,增材制造中的填沖應用,擺動焊接以及電子元件的標刻。數(shù)字控制和強大的PWM輸出級技術保證了振鏡的速度和動態(tài)響應。配合我們的相機適配器和機器視覺組件,SUPERSCAN IV-15也是精確加工監(jiān)控的理想工具。

創(chuàng)新與品質(zhì)

在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)是我們的首要目標。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實驗室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測試的。通過我們的全球支持網(wǎng)絡,能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務。

通用規(guī)格

電壓30V或48V
電流2A RMS,最大5A
紋波/噪音最大200 mVpp, @20 MHz帶寬
環(huán)境溫度+15℃至+35℃
儲存溫度-10℃至+60℃
濕度≤80%無結(jié)霜
外殼防護等級64
接口信號數(shù)字XY2-100-增強協(xié)議, SL2-100協(xié)議
典型偏轉(zhuǎn)角± 0.393 rad
分辨率 XY2-100-E 16-Bit12 μrad
分辨率 SL2-100 20-Bit0.76 μrad
重復定位精度 (RMS)< 2.0 μrad
位置噪聲 (RMS)< 4.5 μrad
最大增益漂移115 ppm/K
最大位置漂移110 μrad/K
8小時長期漂移,無水冷< 60 μrad
8小時長期漂移,有水冷< 40 μrad

反射鏡類型

波長材質(zhì)
355 nmQU
532 nmQU, SI
1,030 nmSC
1,064 nmQU, SI, SC
1,060 nm ~ 1,080 nm(高功率鍍膜)QU
10,600 nmSI, SC

機械參數(shù)

型號SUPERSCAN IV
輸入孔徑 [mm]15
光束位移         [mm]18.1 (QU, SI) / 18.0 (SC)
重量(含透鏡)[kg]約 3.2
尺寸 (L×W×H) [mm]170.0 × 125.0 × 117.5

調(diào)校模式

調(diào)校描述
快速進給調(diào)校 (VC)適用于常見應用,注重加工速度
清洗調(diào)校 (C)適用于長焦高速掃描
填充調(diào)校 (H)適用于高精度填充和光束偏轉(zhuǎn)

動態(tài)參數(shù)

掃描振鏡SUPERSCAN IV-15-QUSUPERSCAN IV-15-SISUPERSCAN IV-15-SC
調(diào)校VCCVCVCH
加工速度 [rad/s]45 @ 30 V
50 @ 48 V
-
200 @ 48 V
50 @ 30 V
65 @ 48 V
55 @ 30 V
75 @ 48 V
30 @ 30 V
30 @ 48 V
定位速度 [rad/s]45 @ 30 V
50 @ 48 V
-
200 @ 48 V
50 @ 30 V
65 @ 48 V
55 @ 30 V
75 @ 48 V
30 @ 30 V
30 @ 48 V
追跡誤差 [ms]0.190.300.160.140.123
1%全行程階躍響應時間 [ms]0.490.650.430.370.47

詳情資料:SUPERSCAN-IV-15

SUPERSCAN IV-20

    兩軸激光掃描振鏡

數(shù)字控制,高動態(tài)性能,多用途

  • 通過20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制

  • 得益于數(shù)字PWM輸出級,極大的降低了功耗和熱量

  • 最大化生產(chǎn)效率的高動態(tài)響應和高速度,特別適合增材制造

  • 針對不同應用的多種反射鏡基材和鍍膜

  • 輸入孔徑: 20 mm

優(yōu)勢

SUPERSCAN IV-20的模組化數(shù)字控制技術提供了極高的動態(tài)響應和速度,從而滿足極快速度極高精度掃描應用的要求。堅固的水冷外殼設計,搭配石英反射鏡,能夠承受激光功率高達3 kW。

可配置選項

透鏡、保護窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。這些參數(shù)加工應用得以獲得優(yōu)質(zhì)質(zhì)量和加工效率。我們樂于為您提供最適合您應用的SUPERSCAN IV定制化配置。我們也樂于幫助您選擇適合您應用的最優(yōu)化配置。

典型應用

SUPERSCAN IV-20振鏡不僅特別適合微焊接和振動焊接,也適合電子元件的標刻。數(shù)字控制和強大的PWM輸出級技術保證了振鏡的速度和動態(tài)響應。配合我們的相機適配器和機器視覺組件,SUPERSCAN IV-20是精確加工監(jiān)控的理想工具,也是增材制造應用的理想選擇。

創(chuàng)新與品質(zhì)

在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)水準是我們的首要目標。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實驗室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測試的。通過我們的全球支持網(wǎng)絡,能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務。

通用規(guī)格

電壓±30V 或 ±48V
電流2A RMS, 最大5A
紋波/噪音最大200 mVpp, @20 MHz帶寬
環(huán)境溫度+15°C至+35°C
存儲溫度-10 °C至+60 °C
濕度≤80 %無結(jié)霜
IP防護等級64
接口信號XY2-100-增強協(xié)議 SL2-100協(xié)議
典型偏轉(zhuǎn)角± 0.393 rad
分辨率 XY2-100-E 16-Bit12 urad
分辨率 SL2-100 20-Bit0.76 urad
重復定位精度 (RMS)≤2.0 urad
定位誤差 (RMS)≤3.2 urad
最大增益漂移15 ppm/K
最大位置漂移10 urad/K
8小時長周期穩(wěn)定性,無水冷≤60 urad
8小時長周期穩(wěn)定性,有水冷≤40 urad

機械參數(shù)

型號SUPERSCAN IV-20 QU / SI / SC
輸入孔徑 (mm)20
光束位移 (mm)26.0
重量(無透鏡) (kg)約5.5
尺寸(L x W x H) (mm)203.0 x 159.0 x 150.0 / 160.51

反射鏡類型

波長材質(zhì)
355 nmQU
532 nmQU, SC
1,064 nmQU, SC
10,600 nmSi, SC

調(diào)校

調(diào)校描述
向量調(diào)校 (VC)針對常見應用進行優(yōu)化調(diào)校,注意高加工速度;其它調(diào)校可選

動態(tài)參數(shù)

掃描振鏡SUPERSCAN IV-20 QUSUPERSCAN IV-20 SCSUPERSCAN IV-20 SI
調(diào)校VCVCVC
加工速度 (rad/s)45 @ 30 V
50 @ 48 V
50 @ 30 V
75 @ 48 V
45 @ 30 V
60 @ 48 V
定位速度 (rad/s)45 @ 30 V
50 @ 48 V
50 @ 30 V
75 @ 48 V
45 @ 30 V
60 @ 48 V
追跡誤差 (ms)0,280,200,25
1%全行程階躍響應時間 (ms)0,700,500,62

水冷控制

冷卻水加添加劑的潔凈自來水
溫度22°C ~ 28°C
最大水壓≤3 bar
流量2 l/min、4 l/min、6 l/min
壓降0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar

詳情資料:SUPERSCAN-IV-20

SUPERSCAN IV SOLAR

    兩軸激光掃描振鏡

快速、準確的太陽能電池激光加工

  • 高達66 m/s的高速掃描,確保高產(chǎn)能每小時>3,600個晶圓片

  • 高精度<±15 μm確保高光電轉(zhuǎn)換效率

  • 配有優(yōu)化的高動能反射鏡,確保最佳性能

  • 使用f = 330 mm透鏡

優(yōu)勢

SUPERSCAN IV SOLAR基于模型的數(shù)字控制提供了極高的速度,最高可達200 rad/s。這真正實現(xiàn)了特別快速和精準的應用。帶有覆蓋超波長涂層的特殊鍍面基材即使在大的加工區(qū)域內(nèi),也能實現(xiàn)小的光斑直徑。

可選配置

透鏡,保護窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。這些參數(shù)加工應用得以獲得最優(yōu)化質(zhì)量和加工效率。我們樂于為您提供適合您的應用的SUPERSCAN IV定制化配置。我們也樂于幫助您選擇適合您應用的最優(yōu)化配置。

典型應用

特別是,太陽能行業(yè)的晶圓結(jié)構是一個自然的應用。由于采用了數(shù)字控制和強大的PWM輸出級,速度和動態(tài)響應得到了保證。當結(jié)合我們的相機適配器和MVC組件,SUPERSCAN IV SOLAR成為理想的具有過程監(jiān)控的精密工具。

創(chuàng)新與品質(zhì)

在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)是我們的首要目標。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實驗室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測試的。通過我們的全球支持網(wǎng)絡,能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務。

通用規(guī)格

電壓+48V
電壓2A RMS, 最大5A
紋波/噪音最大200 mVpp, @20 MHz帶寬
環(huán)境溫度+15°C至+35°C
儲存溫度-10°C至+60°C
濕度±80 %無結(jié)霜
外殼防護等級64
接口信號XY2-100-增強協(xié)議 SL2-100協(xié)議
典型偏轉(zhuǎn)角± 0.393 rad
分辨率 XY2-100-E 16-Bit12 urad
分辨率 SL2-100 20-Bit0.76 urad
重復定位精度 (RMS)≤2.0 urad
定位誤差 (RMS)≤4.5 urad
最大增益漂移15 ppm/K
最大位置漂移10 urad/K
8小時長周期穩(wěn)定性,無水冷≤60 urad
8小時長周期穩(wěn)定性,有水冷≤40 urad

機械參數(shù)

型號SUPERSCAN IV-15SUPERSCAN IV-20
輸入孔徑 [mm]1520
光束位移 [mm]18.1 (QU), 18.0 (SC)26.0 (QU, SC)
重量 [無透鏡] [kg]約3.2約5.5
尺寸 (L x W x H) [mm]170.0 x 125.0 x 117.5203.0 x 159.0 x 150.0

反射鏡類型

波長材質(zhì) 15 mm材質(zhì) 20 mm
343 nmSCSC
355 nmQU, SCSC
515 nmSCSC
532 nmQU, SCSC
1,030 nm, 1,070 nmSCSC
1,064 nmQU, SCSC
1,060–1,080 nmQUSC

調(diào)校

調(diào)校描述
高線性精度調(diào)校 (PL)針對長焦在高速打標和超高精度光束偏轉(zhuǎn)時的優(yōu)化調(diào)校
晶圓調(diào)校 (W)針對長焦在最高速度和高精度光束偏轉(zhuǎn)時的優(yōu)化調(diào)校

動態(tài)參數(shù)

型號SUPERSCAN IV-15 QUSUPERSCAN IV-15 SCSUPERSCAN IV-20 5C
調(diào)校WPLWW
加工速度 [rad/s]200110200160200
定位速度 [rad/s]200110200160200
追跡誤差 [ms]0.300.300.20400
1%全行程階躍響應時間 [ms]0.650.800.501.00

水冷控制

規(guī)格冷卻水
溫度22°C ~ 28°C
最大水壓<3 bar
流量2 l/min、4 l/min、6 l/min
壓降0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar

詳情資料:SUPERSCAN-IV-SOLAR

SUPERSCAN IV-30

    兩軸激光掃描振鏡

數(shù)字控制,高動態(tài)性能,多用途

  • 通過20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制

  • 得益于數(shù)字PWM輸出級,極大地降低了功耗和熱量

  • 快速動態(tài)響應和高速度得以最大化生產(chǎn)效率,特別適合MOTF加工

  • 針對不同應用的多種反射鏡基底和鍍膜

  • 輸入孔徑:Φ 30 mm

優(yōu)勢

SUPERSCAN IV振鏡提供了極快的動態(tài)響應和速度,與我們I模組配合特別適合MOTF應用(飛行加工與標刻)。堅固的水冷外殼設計,搭配可選配的空氣冷卻組件,使之能夠承受高達6kW的激光功率。

可選配置<<>

透鏡、保護窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。電子控制系統(tǒng)也支持額外的控制參數(shù)設置(調(diào)校選項)。我們樂于為您提供最適合您應用的SUPERSCAN IV優(yōu)化配置。

典型應用

SUPERSCAN IV是RAYLASE針對極高速度和快速動態(tài)響應要求的材料激光加工應用推出的理想解決方案。SUPERSCAN IV特別適合劃線、鉆孔、包裝行業(yè)中的塑料和紙板切割以及電子元件標刻。數(shù)字控制和強大的PWM輸出級技術保證了振鏡的速度和動態(tài)響應。結(jié)合我們的高功率相機適配器,安裝在機器人和光門系統(tǒng)上的SUPERSCAN IV搭配可選加工監(jiān)測組件,是理想的遠程焊接解決方案。

創(chuàng)新與品質(zhì)

在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)是我們的首要目標。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實驗室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測試的。通過我們的全球支持網(wǎng)絡,能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務。

通用規(guī)格

電壓30 V 或 48 V
電流2 A RMS, 最大 5 A
電流最大 200 mVpp, @20 MHz帶寬
環(huán)境溫度+15°C 至 +35°C
儲存溫度-10°C 至 +60°C
濕度≤ 80 % 無結(jié)露
外殼IP防護等級64
接口信號XY2-100 增強協(xié)議, SL2-100協(xié)議
典型偏轉(zhuǎn)角± 0.393 rad
分辨率 XY2-100-E 16-Bit12 μrad
分辨率 SL2-100 20-Bit0.76 μrad
重復定位精度 (RMS)< 2.0 μrad
定位噪聲 (RMS)< 3.2 μrad
最大增益漂移15 ppm/K
最大位置漂移110 μrad/K
8小時長期穩(wěn)定性,無水冷< 60 μrad
8小時長期穩(wěn)定性,有水冷< 40 μrad

機械參數(shù)

型號SUPERSCAN IV-30
輸入孔徑 [mm]30
光束位移 [mm]36.0 (SI, SC), 35.4 (QU)
重量(無透鏡) [kg]約 5.5
不銹鋼外殼 [kg]約 12.0
尺寸 (L x W x H) [mm]203.0 x 159.0 x 150.0

反射鏡類型

波長材質(zhì)
420 nm – 480 nmQU
900 nm – 1,100 nm + ALQU, SC
1,064 nmSI, SC, QU
1,020 nm – 1,040 nm (高功率鍍膜 > 3 kW)QU
1,060 nm – 1,080 nm (高功率鍍膜 > 3 kW)QU
10,600 nmSI, SC

調(diào)校

調(diào)校描述
快速向量調(diào)校 (VC)針對常見應用進行的優(yōu)化調(diào)校,注重加工速度
快速向量調(diào)校 (FV)結(jié)合高動態(tài)性能和高速的優(yōu)化調(diào)校

動態(tài)參數(shù)

型號SUPERSCAN IV-30-QUSUPERSCAN IV-30-SISUPERSCAN IV-30-SC
調(diào)校向量向量向量快速向量
加工速度 [rad/s]30 @ 30 V50 @ 48 V35 @ 30 V55 @ 48 V40 @ 30 V65 @ 48 V30 @ 30 V50 @ 48 V
定位速度 [rad/s]30 @ 30 V50 @ 48 V35 @ 30 V55 @ 48 V40 @ 30 V65 @ 48 V30 @ 30 V50 @ 48 V
追跡誤差 [ms]0.480.430.300.24
1%全行程階躍響應時間1.21.00.80.65

空氣冷卻

壓縮空氣潔凈空氣,去水去油
流量50 – 100 l/min
壓降1.0 bar – 1.5 bar

水冷控制

冷卻水加添加劑的潔凈自來水
溫度22°C – 28°C
最大水壓< 3 bar
流量2 l/min、4 l/min、6 l/min
壓降0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar

詳情資料:SUPERSCAN-IV-30

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