衍射光學(xué)元件(DOE：DiffractiveOpticalElements)，是基于光波的衍射理論，利用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)，并通過半導(dǎo)體芯片制造工藝，在基片上(或傳統(tǒng)光學(xué)器件表面)刻蝕產(chǎn)生臺(tái)階型或連續(xù)浮雕結(jié)構(gòu)，形成同軸再現(xiàn)、且具有極高衍射效率的一類光學(xué)元件。衍射光學(xué)元件薄而輕，體積小，還具有高衍射效率、多設(shè)計(jì)自由度、良好的熱穩(wěn)定性和獨(dú)特的色散特性，是諸多光學(xué)儀器的重要元件。

隨著國內(nèi)外市場對(duì)激光光束變換的迫切需求，基于衍射光學(xué)的各類解決方案越來越受到市場的重視，尤其在平頂整形領(lǐng)域，多焦點(diǎn)切割等方面應(yīng)用擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。不僅如此，諸如分束、勻光、長焦深、渦旋光束、點(diǎn)陣、特征圖形等元件及模塊在各領(lǐng)域也有重要應(yīng)用。

平頂光整形系統(tǒng)，將高斯光束整形為能量均勻的平頂光束，在太陽能電池板上，開出邊緣整齊的溝槽，一定程度上提高了太陽能電池板的能量轉(zhuǎn)換效率。并基于此方案，研發(fā)出一維平頂光束，在半導(dǎo)體激光退火工藝中，有極大的應(yīng)用。

多焦點(diǎn)系統(tǒng)的運(yùn)用當(dāng)中，成功解決了傳統(tǒng)激光切割方案面對(duì)厚材料時(shí)的重復(fù)加工導(dǎo)致切割效率低下，切割端面不整齊的難題，深受客戶使用者的好評(píng)。多焦點(diǎn)切割系統(tǒng)，焦點(diǎn)個(gè)數(shù)和焦點(diǎn)間距均可根據(jù)客戶進(jìn)行設(shè)計(jì)定制，極大地豐富了該產(chǎn)品的應(yīng)用場景。

高斯光束的能量分布方式為中間高邊緣低，在進(jìn)行加工時(shí)，有相當(dāng)一部分能量不能被有效利用。同時(shí)，為了保證加工的均勻性，光斑間的重疊要足夠大，從而影響加工效率的提高。平頂整形元件可將高斯光束轉(zhuǎn)換為客戶所要求形狀的平頂光束，光斑內(nèi)能量均勻，從而可以大幅提高加工質(zhì)量，減小HAZ，提高加工效率。

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